Językowy kurs trenera personalnego Wrocław, Szczecin, Katowice
No Data

Problemy elektromigracji

Problemy elektromigracji

Post by relatedRelated post

User Rating

rp_nauka87.jpgElektromigracją nazywamy zjawisko transportu masy metalu w wyniku wymiany momentu pędu między termicznie wzbudzonymi jonami metalu i elektronami przewodnictwa w czasie przepływu przez cienkowarstwowe połączenie metaliczne prądu stałego, W metalizacji aluminiowej problemy związane z niezawodnością ścieżek cienkowarstwowych występują przy obciążeniach prądowych w zakresie gęstości prądu 109 A ? m~2 i więcej oraz w warunkach termicznego obciążenia struktury przyrządu półprzewodnikowego w zakresie temperatury powyżej 100°C. Problemy związane z elektromigracją, jako mechanizmem określającym niezawodność metalizacji w układach MOS pracujących w zakresie obciążeń prądowych rzędu 10″ A ? m~2 są mało istotne. Natomiast w elementach mocy oraz bipolarnych układach scalonych pracujących w warunkach obciążeń prądowych powyżej 109 A ? m~2 elektromigracją jest podstawowym, mechanizmem określającym niezawodność eksploatacyjną przyrządów półprzewodnikowych. W idealnym przypadku elektromigracji atomy metalu poruszają się w kierunku bieguna dodatniego, natomiast wakancje sieciowe w kierunku ujemnie spolaryzowanego bieguna cienkowarstwowego połączenia metalicznego. W wyniku zachodzącego wzdłuż cienkowarstwowego, idealnego połączenia zjawiska transportu masy obserwuje się na cienkowarstwowej ścieżce metalicznej znaczne ubytki materiału w pobliżu katody oraz nagromadzenie materiału w pobliżu anody .

Przeczytaj także: Jenorodność RS

 

Jednorodność warstwy domieszkowanej na płytce półprzewodnikowej ma duże znaczenie dla utrzymania na tej płytce jednorodności parametrów przyrządów półprzewodnikowych dyskretnych lub stanowiących elementy układu scalonego, a zatem jest jednym z czynników gwarantujących wysoki uzysk w produkcji. Badanie jednorodności domieszkowania może znaleźć zastosowanie przy opracowywaniu nowych technologii i optymalizacji procesów domieszkowania. Jednorodność warstwy określa się zwykle rozkładem rezystancji powierzchniowej mierzonej w różnych miejscach na płytce. W tym celu rezystancję powierzchniową mierzy się: metodą sondy czteroostrzowej na płytce domieszkowanej na całej powierzchni , uwzględniając właściwe współczynniki korekcyjne przy pomiarach z dala od środka płytki ; metodą sondy czteroostrzowej w strukturach planarnych, np. o kształcie prostokąta , co umożliwia stosowanie tylko jednej stałej K niezależnie od miejsca na płytce; wykorzystując do pomiarów struktury próbne . Pierwsze dwie metody umożliwiają badanie jednorodności Rs bezpośrednio po procesie domieszkowania; natomiast trzecia ? po zakończeniu wszystkich operacji technologicznych koniecznych do wytworzenia struktur próbnych, co stanowi jej wadę, a jednocześnie zaletę, gdyż Rs mierzy się po wszystkich procesach termicznych powodujących rozdyfundowanie warstwy. Celowe jest stosowanie do pomiarów sondą czteroostrzową i pomiarów struktur próbnych automatycznego stanowiska do pomiarów ostrzowych sprzężonego z minikomputerem zbierającym i przetwarzającym wyniki z pomiarów.

………
– wiercenie w betonie zbrojonym
– busy do niemiec ze Słupska
– Węzły cieplne w miejskich systemach ciepłowniczych
– Audyt wewnętrzny GHP, GMP, HACCP – poradnik praktyczny
– hologramy na legitymacje studencką
– chmura dla ekspertow e24cloud
– głodówka lecznicza
– sesja narzeczeńska Wrocław
– kurs na wózki widłowe ergon warszawa
– Nowe Czynniki Chłodnicze i Nośniki Ciepła, własności cieplne, chemiczne i użytkowe

Pozostałe artykuły o edukacji oraz szkole:

Problemy elektromigracji
0 votes, 0.00 avg. rating (0% score)
About